湖南湘潭专业维修美国AE40KHZ中频电源 磁控溅射电源

湖南汇鑫电力成套有限公司专门维修美国ae中频电源电源

一、用途：

主要用于半导体、太阳能电池生产线中的pecvd设备、等离子体镀膜设备、离子刻蚀设备及薄膜材料改性设备等。具备间歇式脉冲放电功能，特别适用于pecvd设备镀膜工艺， 可提高成膜质量。

二、技术特点

• ø 分七档负载匹配调节，负载适应范围宽； 
• ø 输出电压、电流波形为正弦波，波形光滑，失真小；
• ø 可实现间歇式脉冲功率输出；
• ø 具有过压、过流、开路及短路等完善的保护功能；
• ø 具有强抗打弧能力；
• ø 成膜质量好；
• ø 具有并机使用功能。

三、主要技术参数

• ø 输出功率100w～10kw连续可调；
• ø 输出频率：40khz；
• ø 输出Zui大电压有效值：1100v；
• ø 输出Zui大电流有效值：33a；
• ø 负载阻抗范围：1ω～99ω；
• ø 功率稳定度：优于1.0%；
• ø 输入电压：380伏+10%，－15%，三相接地（无中线）；

四、电气规格｜

• ø 电压频率：45~65hz；
• ø 输入电源过流保护：32a；
• ø 输出频率：40khz；
• ø 电源效率：0.86全功率输出；
• ø 功率因素：0.88全功率输出；
• ø 输出功率：10kw；
• ø 负载匹配：七档10kw。

五、尺寸及重量

• ø 尺寸：长635mmî宽482mmî高177mm；
• ø 重量：40公斤。

湖南汇鑫电力成套设备有限公司系原湖南衡阳市真空机电设备有限公司电源事业部发展而来。        

湖南衡阳真空机电设备有限公司成立于1993年，是国内太阳能真空集热管镀膜设备的核心生产制造商。随着市场的发展需要，为真空集热管镀膜设备提供电源的电源事业部独立出来成立特种电源公司。联合国内知名高校及科研机构的基础上，组建技术研发团队；在消化吸收国际先进的厂家生产技术基础上，研发出适合我国半导体等行业所需要的中频电源。

本产品的品牌是AE，型号是40KHZ中频电源，类型是低频磁控溅射电源，输出电流是9（A），输入电压是180-230（V），输出电压是547（V），输出功率是60（W），频率范围是40kHz±0.01%，工作温度是水冷，5-30℃，2gpm，产品认证是CCC，加工定制是是